中安在线、中安新闻客户端讯 传感器，被称为人工智能的“神经元”，是工业互联网、车联网、人形机器人等未来产业的基石，而MEMS晶圆则是构成智能传感器的“制造基座”。
目前，蚌埠市是安徽省内唯一同时拥有集成电路及MEMS晶圆生产线的城市。记者走进位于蚌埠市中国传感谷的安徽华鑫微纳集成电路有限公司生产车间，高度智能化的晶圆生产线正全速运转，该公司投资50.6亿元建设的8英寸MEMS晶圆生产线项目采用全国产化天车系统，是全国首条8英寸MEMS晶圆全自动生产线，规划月产能达到3万片。
“今年3月，项目首批全流程工程批下线开始调试生产，预计12月份可达到月产一万片的目标，2027年达产后将成为国内MEMS晶圆产出最大的生产线。”安徽华鑫微纳集成电路有限公司副总经理丁敬秀介绍，8英寸MEMS晶圆生产线集体硅MEMS工艺、压电MEMS工艺、MEMS-CMOS、2.5D/3D微系统集成工艺于一体，工艺技术与产业化能力处于全国领先水平。
近年来，蚌埠市全力打造中国传感谷这一核心平台，围绕晶圆制造优势，大力发展MEMS传感器产业，推动智能传感器产业集群化、规模化发展。
中国传感谷现已形成了以芯动联科、华鑫智感等为领衔的芯片设计，以北方微电子院、华鑫微纳等为领衔的晶2圆制造，以希磁科技、禹芯半导体、太测临峰等为领衔的封装测试，以鸣楚新材、富博新材、信诺达等为领衔的材料设备，以海车神驭、华安星辰、中科微感等为领衔的终端应用智能传感器全产业链体系。
“预计到2027年，中国传感谷产值将突破300亿元。”蚌埠市经开区党工委委员、管委会副主任汤伟告诉记者，中国传感谷已连续两年被赛迪顾问评为全国MEMS传感器十大园区，排名也从去年的全国第8名上升至今年的第6名，正奋力朝着千亿元智能传感产业集聚区的目标迈进。（记者 汪应智）
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